低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压到达气体的 放电电压时，气体被击穿，发生包含电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中尽管电子温度很高，但重粒子温度很低，整个系统出现低温状况，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是使用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物效果，使污染物分子在较短的时间内发生分化，并发生后续的各种反应以到达降解污染物的意图。(注：低温等离子体相对于高温等离子体而言，归于常温运转。)山东资质升级

　　工业除臭设备、等离子体反应区富含很高的物质，如高能电子、离子、自由基和激发态分子等，废气中的污染物质可与这些具有较高能量的物质发生反应，使污染物质在很短的时间内发生分化，并发生后续的各种反应以到达解说污染物的意图。与传统的电晕放电局势发生的低温等离子技术相比较，等离子体技术放电密度是电晕放电的1500倍，这便是传统低温等离子体技术管理工业废气99%以失败而告终的原因。